本標準主要用于半導體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學研究等所用透明石英玻璃儀器之技術要求均可參考本標準執(zhí)行。透明石英玻璃儀器有QSY透明石英玻璃儀器和DSY透明石英玻璃儀器兩種。技術要求 1．透明石英玻璃儀器的化學成分，熱穩(wěn)定性，抗結晶性和高溫變色性，均不低于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應盡量消除應力，必須保證在常溫下逐步升溫至1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標分為二級（見下表）。項目一 級二級色加工過程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0斑允許數(shù)量（個/100厘米[2]）≤2≤2外吊管接口應做到軸向平行徑向垂直加工 1/2管材壁厚管材壁厚表面凸凹不大于所用管材壁厚型長度未注明非重要部位的自由公差（毫米）±3±3錐度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15磨口與未加工亮面呈直徑圓周，彎曲度（毫米）±1±2磨磨口內(nèi)亮面（毫米[2]）不允許 8口允許數(shù)量（個/100厘米[2]）不允許≤1配塞口的高低公差（毫米）±3±3合二通活塞對孔誤差≤1/4≤1/3多通活塞對孔誤差≤1/2≤3/5水面積（毫米[2]）≤10 11￣50跡允許數(shù)量（個/100厘米[2]）≤2≤2云在加工復雜器件的過程中不易避免的部位不允許不允許霧（半透明云霧）焊焊接之彎曲處熔合圓滑必須完全熔合必須熔合折料和料疙瘩處厚度在壁厚公差范圍內(nèi)在壁厚公差范圍內(nèi)接炸裂紋不允許不允許析晶和指紋印不允許不允許注：①密封性檢驗方法：將水盛入磨口儀器中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，倒翻10次，每次在10秒內(nèi)，用濾紙擦試無滲出水液為封口性能合格。②QSY透明石英玻璃儀器的非主體部分，在不影響性能的情況下，可用外徑D19毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。 4．透明石英玻璃儀器，非加工部位（允許加工后達到要求）的技術要求如下。（1）QSY透明石英玻璃儀器：儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品；儀器的二級品外觀指標不低于租應管材的三級品。（2）DSY透明石英?，攦x器：儀器的一級品外觀指標不低于相應管材的二級品；儀器的二級品外觀指標不低于相應管材的四級品。